企业概况
Company Introduction
上海励兆科技有限公司,是一家为泛半导体设备行业提供射频等离子系统解决方案的先进制造商,我们致力于等离子体工艺设备核心部件的研发、制造和销售。
主要产品包括:射频电源、阻抗匹配器、远程等离子体源等,以及定制化模块,包括射频滤波器、射频电压电流探测器、E-Chuck高压电源等,并提供泛半导体设备射频系统一站式技术解决方案。
励兆科技拥有出色的研发团队,完善的设计软件、仿真工具和测试平台,全国领先的高频电力电子技术、大功率射频技术、高速数字控制技术,以及等离子体控制技术。
公司的产品在拥有高可靠性和稳定性的同时,还具备先进的高速控制、高精度、高效率输出特性,能满足 14nm 以及更先进的半导体工艺技术节点要求。